(资料图片)

在4月召开的SEMI中国光伏标准技术委员会2023年度春季会议上，由北方华创（002371）牵头SEMI光伏设备工作组数十家成员单位联合编写的《Guide for Tube PECVD Graphite Boat Materials for Solar Cell Production》（《太阳能电池生产用卧式PECVD石墨舟材料技术指南》，以下简称“《指南》”），得到SEMI中国光伏标准技术委员会（以下简称“中国光标委”）委员一致认可，以全票赞成的结果获得立项批准。

据悉，SEMI已发布标准共1064项，其中，光伏领域标准仅99项，中国光标委从2011年12月成立以来，共发布42项SEMI国际产业标准，而此次获得立项批准的《指南》发布之后，将成为SEMI首个[1]光伏工装夹具标准。

[1]由中国光标委发布的42项SEMI国际产业标准请参看官网清单 https://china.semi.org.cn/article/140

当前，PECVD石墨舟均为定制，规格高达成千上百种，作为承载电池片普遍使用的光伏夹具，由于缺乏统一标准，在不同机台间通用性差、备件种类繁多而频出问题，这大幅增加了使用和维保难度。北方华创所在的SEMI光伏设备工作组认真收集行业痛点，从降低客户维护成本、提高行业通用性出发编写《指南》，旨在解决光伏行业石墨舟因兼容性、设计规范和性能评价标准缺失导致的各类问题，从而减少资源投入，推动产业链上下游降本提效。本次会议上，《指南》成功通过第一轮全球投票预审，并成功立项。

据介绍，《指南》只是工装夹具系列化的首个落地项目。本次会议上，北方华创还代表SEMI光伏设备工作组，联合多家单位向与会专家汇报了全产业链协同推进石墨舟、石英舟、碳化硅桨等多类工装夹具的标准化和规范化，形成光伏工装夹具标准族的设想，并呼吁上下游企业踊跃参与，为光伏产业的装备标准化群策群力。

北方华创作为国内先进的半导体高端装备制造企业，面向光伏领域可提供包含低压扩散炉、PECVD、LPCVD等在内的三大类共20余款装备，其性能指标优异，并广泛应用于多种新兴高效电池生产工艺中。

北方华创多年来一直积极参与行业标准制定，到目前为止，共参与制定SEMI光伏标准4项（2项主编，2项参编）。

北方华创2021年参与修订的SEMI PV86光伏晶体硅组件尺寸规范获颁SEMI标准证书

在双碳目标的引导下，以光伏发电为方向的能源经济转型，为终端应用发展带来巨大空间，北方华创愿与业界携手，通过积极参与行业标准制定，推动产业链上下游降本增效，助力中国光伏产业高质量发展。